多晶硅材料的制备 当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅。 1)碳还原法在电弧中,利用纯度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右进行还原反应,可生成多晶硅。 2)三氯氢硅氢还原法 3)硅烷热分解法 4)四氯化硅氢还原法 3)硅烷热分解法 4)四氯化硅氢还原法 赞 0 加群 分享