非晶硅的制备

1）等离子化学气相沉积法
       该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解，硅烷分解生成硅原子，
沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。

太阳能电池的制备

硅片切割-- 去除损伤层--制绒－扩散－刻蚀
－PECVD沉积减反射层 －丝网印刷上下电极
－烧结形成金属接触－分类检测－包装