Fe2O3、Fe3O4、Cr2O3、Al2O3、Mg2O3及ZnO、TIO2，等金属氧化物的细粉，吸收水分后有极快的速干特性，利用这种特性可以研制生产出多种金属氧化物膜湿敏元件。
金属氧化物膜湿敏元件的一般结构如图所示。在陶瓷基片上先制作成钮银梳状电极，然后采用丝网印刷、涂布或喷射等工艺方法，将调制好的糊状金属氧化物加工在陶瓷基片及电极上，采用烧结或烘干方法使之固化成膜。这种膜可以吸附或释放水分子而改变其电阻值，通过测量电极间的电阻值即可检测相对湿度。
金属氧化物膜湿敏元件的特点是电阻的对数值与湿度呈线性关系，具有测试范围宽、响应速度快、湿滞小和工作温度范围宽的优点，使用寿命大多在两年以上。
