FEMTO CUTE-MP 等离子表面处理系统

CUTE-MP 等离子表面处理系统 产品规格

真空室：Dia. 108mm × L. 250mm
气　路：标准一路气体（最多3路气体，MFC）
电　源：50kHz,100W
操作界面：全自动&手动操作（触摸屏模式）
压力监测：大气压~ 1×10-3 Torr
选配项：石英腔体/ Dia. 80mm × L. 250mm
　　　　电源功率升级（最大300W）
　　　　射频电源（13.56MHz,最高300W，包括水冷）