SENDURO®, 革命性的光谱椭偏仪
优势:
• 高测量速率
• 全自动样品校准
• 可测量透明和吸收基底
• 按键式操作
• 友好的软件界面
• 高测量精度
• 最简化安装过程
分析一个样品的时间只需不到10秒钟，这个时间包括了所有必要的步骤：
• 放置样品
• 点击开始测量按钮，进行如下步骤
o自动样品校准
o测量数据
o计算
o输出结果
• 取出样品
SENDURO把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来，样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和精确性。已获得专利的自动样品对准装置能够显著减少操作失误；能够工作于透明或反射基底；能够进行地貌图测量，包括翘曲晶片。
SENDURO自带全面的预先定义的能够进行多层膜分析的应用库。SENDURO的智能自动建模功能能够在测量时正确识别样品的结构。
SENTECH´s SENDURO® 软件能够测量单层膜和多层膜的厚度和折射率。全部操作在出色的操作向导指引下完成，可将操作者的对测量结果的影响减至最小。软件提供大量测量应用作业库，包含自动样品校准、快速测量数据、拟合、结果报告等全部步骤。
The SENDURO® 操作软件带有强大的分析工具，如自动建模、卓越的结果输出功能、广泛的可针对用户定制的材料和膜层数据库，可轻松更改现有的或创建全新的测量应用程序。软件包含建模、仿真、拟合等功能，可出色完成对复杂样品的分析。密码控制用户管理支持多用户，并保证数据安全。
SENTECH SEN220 微区域光学透镜和黑/白视频相机，用于样品表面监控
SENTECH SEN 101 50 mm x 50 mm 扫描样品台，直径150 mm
SENTECH SEN 102 150 mm x 150 mm 扫描样品台，直径150 mm
SENTECH SEN 103 200 mm x 200 mm 扫描样品台，直径150 mm
SENTECH SEN 300 300mm扫描行程，x-y样品台，300mm直径样品台
SENTECH SEN 104 200mm直径真空吸附
SENTECH SEN 110 Spectraray II专业分析软件
SENTECH SEN FTP FTPadv，反射式膜厚测量范围50nm---25 000 nm,
SENTECH SEN C 200 wafer cassette loading for 200 mm, 150 mm, diameter wafer, open
SENTECH SEN C 200 wafer cassette loading for 300 mm, 200 mm, diameter wafer, open
