SE 401是出色的单波长椭偏仪， 使用旋转分析器，对测量椭偏角度有高重复性和长期稳定性，快速测量数据，基于windows操作系统的软件使测量精确、快速、简单。SE 401过程控制椭偏仪适用于监控动态过程，如不同环境下单层膜的生长或蚀刻过程。
规格
·激光波长 632.8 nm
·测量时间最小80 ms（测量Ψ,Δ数据）。
·接口配置，用于将椭偏仪安装在反应腔上。
·激光聚焦高度调节
·应力释放窗口
·基于windows系统的操作分析软件，在线监控椭偏测量并计算单层膜的膜厚、折射率。
选项
·高真空应力释放窗口
·使椭偏仪正面向上的附加置换单元
·双波长激光 (可选405 nm或1550 nm)
·角度计可调节入射角，步进值5度。载物台直径150mm
·TIMECALC 软件，动态椭偏测量模拟和分析软件。
SENTECH SE401-UHV UHV windows backable, one pair (Bomco) B5935 1 1/2"
SENTECH SE401-3 手动x-y方向调节，发射端
SENTECH SE401-2 TIMECALC 仿真软件，时间控制工艺
SENTECH SE401-7 安装和准直
SENTECH SE401-18 在线样品对准工具
