SENTECH ’ Reflectometer RM能够在UV-VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率
关键特性:
• 高精度反射率测量，非接触，正入射光
• 宽光谱范围，可从 UV至NIR
• 测量反射率曲线R, 薄膜厚度，折射率
• FTPexpert 软件，用于测量薄膜的光学参数
• 测量半导体混合物的组分 (例如： AlGaN on GaN)
• 分析各向异性薄膜
选项:
• 光谱范围扩展至DUV (200 nm)
• 光谱范围拓展至NIR (1700 nm)
• x-y 地貌图扫描样品台和软件
• 摄象头
• PC
技术指标:
型号
RM 1000
RM 2000
测量数据
反射率R
分析和输出
薄膜厚度、折射率和其他数据
薄膜厚度范围
up to 25μm
up to 50μm
膜厚精度度
好于1 nm (对 400 nm SiO /Si)
或好于1%(对厚度大于1000 nm的薄膜)
准确度(1 σ)
0.3 nm (对400 nm SiO2/Si)
测量时间
Typical 300 ms
光谱范围
450-920nm
240-950nm
光斑直径
80μm
0.5mm
光源
稳定的氘灯和卤素灯光源
探测器
SMA光纤输入分光计，高性能光电二极管阵列测量光谱强度
机架
19” 桌面式控制盒
电源
85...264 VAC 宽电压范围
电源接口
IEC 60320-C14 (针对不同国家电源而不同)
电源线
针对不同国家电源而不同
网络连接器
RJ-45
对用户PC的需求
桌面式PC、显示器、键盘、鼠标，或笔记本电脑，最低配置
600 MHz, 256 MB, 100Mbit网卡(100Base-T), CD-ROM, WinXP系统
