半导体设备供应商avizatechnologyinc.日前宣布其sigma(r)fxp(tm)物理气相沉积（pvd）系统再获美国通信芯片供应商订单并已出货。据悉，上述pvd系统将用于针对移动通信市场的体声波（baw）器件的量产。
avizatechnology公司pvd/cvd/刻蚀业务部门的副总裁兼总经理kevincrofton对再次获得这一baw器件制造商客户的订单表示高兴，他说：“我们相信该市场领域的领先制造商们已开始开发baw滤波器，并将其作为rfmems市场的关键组件。aviza一直以来站在baw产品开发和商用化的前沿，我们相信，以我们不断增长的baw制造设备的销售业绩，我们在这一市场领域占有重要地位，特别是sigma系统已安装于欧洲、美国和亚洲各地。”
对于baw工艺来说，优异的薄膜均匀性、成品率以及晶体结构的正确性至关重要。sigmafxp即是为解决上述问题而设计的。作为一种单晶圆式设备组，sigmafxp被设计应用于批量pvd工艺。溅射淀积系统的工艺腔是在标准设计的基础上，通过简单地技术升级和晶圆尺寸转化而来的。主要的应用于后道
和微/纳米技术等应用场合，具有优良的工艺控制和高吞吐量以及灵活性等特点。
