英国surface technology systems plc（sts）宣布，美国飞思卡尔半导体（freescale semiconductor）已采用其硅深度离子蚀刻模块“pegasus”。此次所订购的是支持组合型的200mm晶圆设备，是该公司累计的第100个pegasus订单。 对于飞思卡尔，此次订购的pegasus将用于其美国德克萨斯州austin的oak hill工厂，用于正在导入的支持200mm晶圆的mems生产线。飞思卡尔正在推进通过mems传感器的低成本化和小型化来扩大汽车领域之外的其他用途的战略。
