据日经bp社报道，德国苏斯微系统（suss microtec ag）在semicon japan 2007上展示了具有超高灵敏度的微信号测定半自动探针系统pa300ps（probe shield）以及数字成像显微镜ivista，该系统可用于300mm晶圆制造工艺。
pa300ps是能够测定阿（atto）级电流值、飞（femto）级容量值、微（micro）级电压值的半自动探针。该产品的特点在于包括放置探头的台板在内，测定器的前置放大器、开关等容易受环境影响的所有单元都得到了emi（电磁干扰）屏蔽，具备该等级最高水平的测定精度和定位精度，可操作性及安全性都有所提高。
因为能够确保emi及rfi（无线频率干扰）屏蔽环境，除了i-v、c-v、s-参数测定外，pa300ps还能够完成以往最尖端元件测定中的难题——脉冲i-v、1f噪声、rfc-v测定。
在此次的展示中，pa300ps将配备该公司已经上市的ivista，做为最尖端元件的特性评价系统进行演示。为了使探测进行的彻底，ivista能够显示最多8个倍率的不同图像，可保存16m像素的图像。
