我国8英寸以上集成电路关键装备实现重大突破

近日，北京北方微电子公司和中科信公司承担的国家100纳米刻蚀机与离子注入机设备攻关项目顺利通过国家验收，标志着我国集成电路装备技术直接跨越了5个技术代，达到了与国际同步的“8英寸100纳米”装备水平。

据介绍，这两家公司向中芯国际集成电路制造公司供货，签订了价值过亿元的采购大单。这是我国国产主流集成电路核心设备首个大单，打破了8英寸以上集成电路核心设备全部被外国企业垄断的局面。