松下电工控制机器事业本部推出了采用mems技术的三款产品，分别是超小型mems高频继电器、面向车载用途的单轴加速度传感器、适用于小型数字设备的三轴加速度传感器。
mems继电器me-x融合了mems和机械继电器技术，采用精密活动结构和磁回路，大小仅为4.0mm×2.5mm× 1.3mm，同时具有低接触阻抗、接点间高绝缘性、可在高频且宽频带下使用的机械式继电器的优点和小型、高效率、可高速开闭的半导体继电器的优点。继电器在6ghz时的电阻为50ω，插入损耗约为0.5db，隔离度约为28db，功耗为100mw，可用于ic测试仪、测量仪、bs/地波数字广播、3g/4g移动电话等产品当中。
gs1型单轴加速度传感器由精密梳齿结构形成的静电容量式mems传感器芯片和专用asic芯片组成，典型尺寸为6.2mm×8.5mm×1.6mm，检测灵敏度为 1v/g，综合精度为±5%fs，温度变化适应性强、可靠性高，可将温度所引起的检测精度的变化控制在最小限度。gs1型加速度触传感器可用于汽车导航系统(倾斜检测、振动检测、简易冲击监视器)和车辆控制(4wd-abs、esc等)、液晶投影机、福利型电动升降机等领域。
gs3型三轴加速度传感器有放大器内置型和无放大器的单体型，可以把施加加速度后所引起的压电阻变化转换为电压变化并输出。内置型带有专用asic，尺寸为4.6mm×4.6mm× 1.3mm，可承受5000g的冲击。单体型没有专用asic，典型尺寸为4.6mm×4.6mm×1.0mm，可承受5000g的冲击，并可与旭化成微系统公司生产的三轴电子罗盘ak8971n相连接。适用于内置hdd的手持设备的跌落保护、液晶画面的纵横切换、游戏机、安全设备、机器人、移动电话、gps导航的姿势修正、游戏键盘操作的简化等应用
