magma公司(magma design automation inc.)与光刻仿真工具供应商brion科技公司(brion technologies inc.)日前共同宣布，两家公司将合作开发一款通用光刻建模工具。据称，该款软件涵盖物理设计、物理验证，以及分辨率增强技术(resolution enhancement technologies, ret)。
两家公司称，这款eda软件将为brion的光刻建模及光学近似修正(optical proximity correction, opc)产品搭建桥梁，从而使客户在采用新的节点工艺时，能够节约成本和时间，并降低风险。
这种基于magma talus, quartz drc、quartz lvs，以及brion tachyon聚集-暴光建模、tachyon lmc(lithography manufacturability check)和opc+环境的工具，可为采用新节点工艺的客户节约成本和时间，并降低风险。该设计流程意在使客户及集成设备制造商能在65纳米、45纳米和32纳米节点或基于其它光刻技术dfm流程下实现设计。
这款整合了talus, quartz drc/lvs和tachyon产品的通用设计工具旨在确保光刻效果在设计流程的每一个阶段精确建模。在减小时序变动的同时，这一工具还能在流片之前降低耗散功率和光刻热点。
数据从blast fusion被送往tachyon-fem、 tachyon lmc和tachyon opc+，从而使光刻流程在变动性最小的同时，优化运行时间，及缩减掩模成本。
