日本ulvac2006年1月将在台湾台南地区设立生产大尺寸液晶面板生产设备的子公司。将于2007年1月投产，将以台湾友达光电（auo）和台湾奇美光电（cmo）为主，向台湾液晶面板厂商提供用于制造tft面板的溅镀机等真空设备。另外，还将在该子公司旁边设立提供真空设备部件的生产、清洗及表面处理等售后服务的支持公司。
此次成立新公司主要是为了满足台湾官方对ulvac提出的当地生产要求。对该公司来说，进行当地生产的好处在于即可获取台湾不断扩大的大尺寸液晶面板市场，又“可降低随面板尺寸不断增大而日益增加的设备及部件的搬运成本”（ulvac经营企划室）。在台湾液晶面板厂商中，auo和cmo已于2005年春季先后表示将建设第7代（玻璃底板尺寸为1950mm×2250mm，通称第7.5代）液晶面板工厂，并计划在2006年下半年到2007年上半年开始量产。新公司将以这两家公司为主，在2007年以后向台湾厂商提供第7代以后的大尺寸液晶面板的生产设备。
新公司名称预定为“lvac taiwan manufacturing corp.（ulvac台湾光电）”。将由ulvac、ulvac九州及台湾ulvac三家公司出资，出资比例分别为25％、50％和25％。注册资金为15亿日元，投资额为10亿日元，预计2011年业务规模将达到70亿日元。
从事真空设备及部件支持业务的服务公司估计将采用“ulvac clean technology corp.（超净科技）”这一名称。将由ulvac materials、ulvac techno和台湾ulvac出资，出资比例分别为20％、20％和60％。将于2006年1月成立，并于同年7月开始运营。注册资本金为10亿日元，投资额为8亿日元，预计2010年业务规模将达到10亿日元。不过，目前尚未公布两家新公司的工厂建设将于何时开工以及工期有多长。
