富士通研究所开发的水晶振子传感器（石英晶体微天平，qcm）
富士通研究所开发成功了可实时分析lsi生产线晶圆运送容器（foup）内空气污染的传感器（新闻发布）。 今后，将通过富士通的lsi生产线进行效果验证。
与金属板并用也可测定污染物
作为lsi生产线的空气污染物分析方法，此前主要采用取样方法。但是使用这种方法，分析时需要花很长时间，并且不能实时分析，很难确定污染原因。而此次则将富士通研所开发的水晶发振传感器（石英晶体微天平，qcm）配置于foup内，可实时分析空气中的污染物，及早确定污染原因，便于采取对策。也可以将金属板与传感器一块放入foup，通过x射线光电子分光法来确定污染物。
qcm的工作原理是水晶振子表面吸附有物质时，振动频率会发生变化。仅吸附0.5ng/cm2的微量物质，振动频率就会变化1hz。新开发的qcm为了放进foup，进行了小型化设计，同时，使用了可弯曲的接线，不用在foup上开口即可插入内部。
lsi生产线普遍采用的方法是，不仅提高洁净室的清洁度，还将晶圆密闭在foup等容器中，局部提高晶圆周围的清洁度。
富士通研究所将在9月25～27日召开的半导体制造技术相关国际会议“international symposium on semiconductor manufacturing（issm）2006”上发表此次的成果。
