mks instruments公司推出用于以太网通信器件实时诊断的600c电容压力计,该全数字压力计整合了其baratron电容技术,可实现高精度、高可靠性及稳定的压力测量。该产品可对以太网通信器件进行实时诊断,并允许用户快速、方便地进行系统的分析和故障维修。
该压力计可用于网络也可单独作为真空监控器,具有嵌入式internet web浏览器可与基于windows的pc通信,带有快速数据记录器(100 msec),可进行快速、详细的自诊断并简化其它系统元件的故障维修。
该产品的工作温度可达45℃或100℃,可用于半导体、显示及生物制药等制造过程应用,测试精度达0.10%,测量范围为1000至0.02托,完全兼容toolweb,易于与mks网关及集线器通信,如senselink和blue box。











