市场调研公司vlsiresearch日前公布了2006年主要半导体制造设备供应商排名，位置没有什么变化，但销售额增长强劲。应用材料、tokyoelectron和asml连续第五年位居前三。kla-tencor在2005和2006年稳居第四。但lamresearch增长强劲，排名从2005及2004年的第七位上升至2006年的第五位。
其它供应商的排名都与2005年相同，只有teradyne是个例外，它取代了asminternational。
应用材料、tokyoelectron和asml分别代表美国、日本和欧洲，巩固了其领先设备制造商的地位。vlsiresearch估计，这三家公司2005-2006年销售收入分别增长了33.7%、13.8%和43.6%。kla-tencor增长17.6%至23.6亿美元，约是asml的2006年销售额的一半。vlsiresearch估计asml的2006年销售额约为45.4亿美元。
