公司简介
沈阳芯源微电子设备有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源公司座落在沈阳市浑南高新技术产业开发区，公司占地2万平米，拥有高等级净化厂房和一流的研发办公环境，已通过ISO9001质量体系、ISO14001环境体系、OHSAS18001职业健康与安全体系和SEMI-S2国际半导体制造设备的环境、健康及安全标准认证。
沈阳芯源在引进技术基础上消化吸收、创新提高，形成自主知识产权体系，已拥有专利240项，其中发明专利196项，产品在匀胶显影技术领域居国内第一，达到国际先进水平。公司自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机、擦片机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛应用于半导体生产、先进封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。
公司总部位于沈阳，在上海设有办事处，在江苏、安徽、武汉设有服务网点，并在台湾、新加坡设有代理机构，建立了快速响应的销售和技术服务团队。芯源产品已销往海内外内近百家客户，在国内半导体、高端封装及LED领域获得广泛应用，同时芯源产品荣获国家战略性创新产品、国家重点新产品、中国半导体创新产品和技术奖及省、市科技进步奖等多项奖励。
沈阳芯源承担国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目，依托国家重大专项的支持，芯源将加速提升企业的创新能力和产品成套能力，以先进可靠的产品和优质服务赢得客户信赖，成为一家具有国际竞争力的半导体高端装备及工艺解决方案提供商。
产品介绍
匀胶设备（7）
KS-S100-2C/3C 星型全自动匀胶机
KS-L150-2C直线型全自动匀胶机
KS-S300 12寸 匀胶显影机
KS-S300-SP 喷雾式涂胶机
KS-F300-6C6D 300mm堆叠式涂胶显影机
KS-F300-2C2D/4C/4D 300mm堆叠式涂胶显影机
KS-F200-2C2D/4C/4D 200mm堆叠式涂胶显影机
显影设备（6）
KS-S100-2D/3D 显影机
KS-L100-2D直线型全自动显影机
KS-S300 12寸 匀胶显影机
KS-F300-6C6D 300mm堆叠式涂胶显影机
KS-F300-2C2D/4C/4D 300mm堆叠式涂胶显影机
KS-F200-2C2D/4C/4D 200mm堆叠式涂胶显影机
清洗设备（2）
KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机
KS-L200-2CL 全自动清洗机
刻蚀设备（1）
KS-S300-E 单片湿法刻蚀机
去胶设备（1）
KS-S300-ST 单片去胶机
应用领域
先进封装
KS-S300 12寸 匀胶显影机
KS-S300-SP 喷雾式涂胶机
KS-S300-ST 单片去胶机
KS-L200-2CL 全自动清洗机
KS-S300-E 单片湿法刻蚀机
半导体照明
KS-S100-2C/3C 星型全自动匀胶机
KS-L100-2C直线型全自动匀胶机
KS-S100-2D/3D 显影机
KS-L100-2D直线型全自动显影机
KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机
大生产线
KS-F300-5C5D 300mm堆叠式涂胶显影机
KS-F300-2C2D/4C/4D 300mm堆叠式涂胶显影机
KS-F200-2C2D/4C/4D 200mm堆叠式涂胶显影机
微机电系统
KS-S100-2C/3C 星型全自动匀胶机
KS-L150-2C直线型全自动匀胶机
KS-S150-2D/3D 显影机
KS-L150-2D直线型全自动显影机
KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机
光通讯
KS-S100-2C/3C 星型全自动匀胶机
KS-L150-2C直线型全自动匀胶机
KS-S150-2D/3D 显影机
KS-L150-2D直线型全自动显影机
KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机
功率半导体
KS-S100-2C/3C 星型全自动匀胶机
KS-L150-2C直线型全自动匀胶机
KS-L150-2C直线型全自动匀胶机
KS-L150-2D直线型全自动显影机
KS-M175S-1CL半自动MASK清洗机
质保体系证书
ISO9001
ISO14001
OHSAS18001
SEMI-S2
