(1)衬底与外延膜的结构匹配：外延材料与衬底材料的晶体结构相同或相近、晶格
常数失配小、结晶性能好、缺陷密度低。
(2)衬底与外延膜的热膨胀系数匹配：热膨胀系数的匹配非常重要，外延膜与衬底
材料在热膨胀系数上相差过大，不仅可能使外延膜质量下降，还会在器件工作过程中因发
热而造成器件的损坏。
(3)衬底与外延膜的化学稳定性匹配：衬底材料要有好的化学稳定性，在外延生长
的温度和气氛中不易分解和腐蚀，不能因为与外延膜的化学反应使外延膜质量下降。
(4)材料制备的难易程度及成本的高低：考虑到产业化发展的需要，衬底材料的制
备要求简捷，成本不宜很高；衬底尺寸一般不小于2英寸。
