光谱范围：350 nm - 850 nm
可选: 280 nm - 850 nm
SE 800是采用快速二极管阵列探测器的高性能光谱椭偏仪，在紫外/可见光范围内兼具快速数据采集速度和全光谱范围分辨率。
光谱椭偏仪SE 800适用于复杂应用，比如测量玻璃上的透明薄膜，发光体和半导体聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多层膜，窗材料的减反射膜，先进的微电子应用比如SOI，高k值和低k值材料。各向异性样品和非均匀样品也能够被分析。
光谱椭偏仪 SE 800 特征
·步进扫描分析器工作方式，对较低光强也同样有效
·消色差补偿器在整个0-360度范围内都可极准确和精确地测量出椭偏角度。能够分析偏振因数和补偿退偏效应
·起偏器跟踪技术可以为每一种应用都提供最高的测量精度
·自动对准镜用于样品倾斜度调节，显微镜用于样品高度调节，能够提供最高的样品对准精度
·高稳定性的操作，所有硬件操作由其内置的微控制器分别控制，基于Windows XP系统的最新型电脑
·SpectraRay II - 功能强大的光谱椭偏仪软件
主要应用
·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
·在紫外-可见光波段测量材料的光学性质
·测量厚度梯度
·测量膜表面和界面间的粗糙程度
·确定材料成分
·分析薄金属膜
·分析各向异性材料和薄膜
·CER - 结合椭偏测量和反射测量
·CET - 结合椭偏测量和透射测量
选项
·紫外扩展选项 280 - 850 nm
·计算机控制角度计，40º-90º, 可选 20º-90º ，精度0.01º
·手动x-y载物台，150 mm行程
·电机驱动x-y载物台，行程50 mm - 200 mm
·MWAFER- SENTECH地貌图扫描软件
·透射测量样品夹具
·摄象头选项，用于样品对准和表面检测
·液体膜测量单元
·反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
·微细光斑选项，光斑直径200微米，可选: 100微米
·自动对焦选项，结合地貌图扫描选项
·SENTECH标准样片
·附加许可，使SpectrRay II软件可以用于多台电脑
光谱椭偏仪软件SpectraRay II
基于windows系统的 SpectraRay II 操作软件包括一个全面的的建模、模拟和拟合软件包，操作向导，自动输出结果，单键操作，使得软件界面友好并且椭偏仪操作简易。
通过运行操作向导，能够使操作变的简单。操作向导能够指导用户完成标准的测量程序：测量数据，拟合，输出结果。操作向导能够将复杂的测量和拟合的设置变的简易。
SpectraRay II 软件也能够进行反射测量和透射测量。
报告向导能够自动完成将测量结果输出到一个web文件。
SENTECH SE800-2 微处理器控制自动角度计
SENTECH SE800-3 微光斑选项，紫外/可见光光谱范围内，直径200微米
SENTECH SE 800-61 CCD相机选件，代替目镜，可对微区域成像，图像抓取
SENTECH SE800-20 预留光学透镜，为后期近红外升级提供支持
SENTECH SE800-PXY 手动x-y样品台，行程50mm，高度和水平可调，150mm直径
SENTECH SE800-PSV 真空吸附样品台
SENTECH SE800-PSD 旋转快速锁定单元
SENTECH SE800-PST 透射样品架
SENTECH SE800-14 自动x-y样品台，行程50mm，高度和水平可调，150mm直径
SENTECH SE800-15 自动x-y样品台，行程150mm，高度和水平可调，150mm直径
SENTECH SE800-16 自动x-y样品台，行程200mm，高度和水平可调，200mm直径
SENTECH SE 800-17 自动极坐标(r,theta)样品台，行程150mm，直径300mm
SENTECH SE 800-AF 自动聚焦选项，要有自动扫描样品台
SENTECH SE 800-51 另一套SPECTRARAY软件
SENTECH SE 800-5A 各向异性软件
SENTECH SE 800-30 反射式膜厚仪
SENTECH SE800-NIR 进红瓦光谱扩展SE 805/SE 850, 750 - 2500 nm
SENTECH SE400-K20 20nm厚硅上氮化硅SiO2薄膜，带检测报告
