最近，无人机又火了！无论是无人机喷洒消毒水，或是无人机配送，甚至是无人机“喊话”戴口罩，都走进了更广泛的现实生活，让大众对其有了新的认识，而不再是传统观念里相对简单的“玩具”。究其原因，其飞行能力显著提高，使其更安全、更稳定、更易于控制这一改进的关键因素之一便是使用了高性能微机电系统（MEMS）传感器。
事实上，近些年随着AI在物联网的渗透和边缘计算能力的增强，MEMS传感器凭借体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高等一系列优点，正逐渐成为微型传感器的主力军，大有取代传统机械传感器的趋势。
ADI 亚太区微机电产品线总监赵延辉在ADI中国25周年媒体技术日发表演讲
“MEMS技术无处不在，其应用已经覆盖了机器人、智慧城市、医疗设备、状态监测、智慧农业、自动驾驶等生活的各个领域。”ADI亚太区微机电产品线总监赵延辉指出，专业调研机构的数据也验证了赵延辉的观点，据Yole Développement统计，2018年全球MEMS市场达到116亿美元，预计到2024年将以8.2%的年复合增长率(CAGR)持续增长。其中消费类应用将占MEMS市场的60%，汽车应用则占20%，其余的20%包括电信、医疗、工业和航空等应用。MEMS传感器优势明显，赵延辉就用当下热门的三大应用为例详细介绍了MEMS传感器在新兴市场中的巨大应用前景。
拒绝干扰，基于MEMS传感器的IMU充当自动驾驶“最后一道屏障”
在物联网时代，大多数的应用或多或少都与位置服务相关联，尤其是对于移动物体，定位需求更为明显。据赵延辉提及，中国移动近日投资超3.36亿元采购4400套高精度卫星定位基准站，加紧部署物联网，说明了通信运营商进军高精度位置服务已经进入了实施阶段。
作为高精度位置服务的典型应用场景，自动驾驶也在争议中不断发展，其涉及的关键技术环节多、产业链长，加速自动驾驶的商业化落地离不开所有相关产业和技术的并驾齐驱。
因此，自动驾驶领域的导航系统精度无法只通过高精度卫星来保障，基于MEMS传感器技术的惯性测量单元（IMU）才是保障自动驾驶的最后一道屏障。因为无论是摄像头、毫米波雷达、激光雷达，还是卫星导航定位，都会受到外部环境的影响，只有基于IMU的惯性导航能够完全不受外界环境的影响地为自动驾驶系统提供连续、高精度、高可靠的车辆位置、方向、速度等多维度的信息，保障车辆的安全行驶。
ADI是最早在此领域进行研究的技术提供商之一，在乘用车自动驾驶技术走进大众视线之前，ADI IMU就已经广泛用在农业自动化中，也就相当于低速的L4级自动驾驶。
ADI的IMU应用与产品线也非常广泛，自2007年推出了首款IMU产品以来，经过十多年的创新发展，其IMU产品在性能持续提升的同时，尺寸也越来越小。据赵延辉透露，去年11月，ADI推出了最新量产的IMU产品ADIS1650x系列，更注重工业“运动物联网”的需求及其对精准地理定位的需求，其性能能够令系统精确地表征运动，不受湍流、振动、风、温度和其他环境干扰，从而实现更精准的导航和引导。“虽然ADIS1650x体积减小很多，但依然采用了差分结构，实现了非常好的振动抑制特性。”赵延辉强调道：“ADIS1650x系列IMU与其他同类高精度产品相比，拥有5倍宽的动态范围，用以适应极端情况；2倍宽的带宽，用以捕捉急速变化；10倍以上的振动抑制特性改良与10倍以上的低噪声加速度传感器改良。”
新制造作为新一轮科技革命和产业变革的重要驱动力，正在中国大地掀起创新热潮。在智能化工业生产中，MEMS传感器正在让冰冷的机器与我们“对话”，例如实现振动分析和诊断、润滑分析、红外热成像、超声波测试等。赵延辉表示，现阶段，工业设备普遍实现了数字化和互联互通，且正在助力生产工具变革。使用IIoT（工业物联网）监测机器的健康状态有助于实现预测性维护，让行业人员能够预测故障，从而大幅节省运营成本。在可测物理量中，振动频谱测量能够针对旋转机器中的问题的根源提供最多信息，已被可靠地应用于各种工业应用中的最关键设备。
