详解半导体器件C-V特性测试

  交流 C-V 测试可以揭示材料的氧化层厚度,晶圆工艺的界面陷阱密度,掺杂浓度,掺杂分布以及载流子寿命等,通常使用交流 C-V 测试方式来评估新工艺,材料, 器件以及电路的质量和可靠性等。比如在 MOS 结构中, C-V 测试可以方便的确定二氧化硅层厚度 dox、衬底 掺杂浓度 N、氧化层中可动电荷面密度 Q1、和固定电 荷面密度 Qfc 等参数。

  C-V 测试要求测试设备满足宽频率范围的需求,同时连线简单,系统易于搭建,并具备系统补偿功能,以补偿系统寄生电容引入的误差。

  进行 C-V 测量时,通常在电容两端施加直流偏压,同时利用一个交流信号进行测量。一般这类测量中使用的交流信号频率在 10KHz 到 10MHz 之间。所加载的 直流偏压用作直流电压扫描,扫描过程中测试待测器件待测器件的交流电压和电流,从而计算出不同电压下的电容值。

详解半导体器件C-V特性测试

  在 CV 特性测试方案中,同时集成了美国吉时利公司源表(SMU)和合作伙伴针对 CV 测试设计的专用精 密 LCR 分析仪。源表 SMU 可以输出正负电压,电压 输出分辨率高达 500nV。同时配备的多款 LCR 表和 CT8001 直流偏置夹具,可以覆盖 100Hz~ 1MHz 频 率和正负 200V 电压范围内的测试范围。

  方案特点:

  ★包含 C-V(电容 - 电压),C-T(电容 - 时间),C-F (电容 - 频率)等多项测试测试功能,C-V 测试最 多同时支持测试四条不同频率下的曲线

  ★测试和计算过程由软件自动执行,能够显示数据和 曲线,节省时间

  ★提供外置直流偏压盒,最高偏压支持到正负 200V, 频率范围 100Hz - 1MHz。

  ★支持使用吉时利 24XX/26XX 系列源表提供偏压

  测试功能:

  电压 - 电容扫描测试

  频率 - 电容扫描测试

  电容 - 时间扫描测试

  MOS 器件二氧化硅层厚度、衬底掺杂浓度等参数的计算

  原始数据图形化显示和保存

  MOS 电容的 C-V 特性测试方案

  系统结构:

  系统主要由源表、LCR 表、探针台和上位机软件组成。 LCR 表支持的测量频率范围在 0.1Hz~ 30MHz。源表 (SMU)负责提供可调直流电压偏置,通过偏置夹具盒 CT8001 加载在待测件上。

  LCR 表测试交流阻抗的方式是在 HCUR 端输出交流电 流,在 LCUR 端测试电流,同时在 HPOT 和 LPOT 端 测量电压值。电压和电流通过锁相环路同步测量,可 以精确地得到两者之间的幅度和相位信息,继而可以推算出交流阻抗参数。

详解半导体器件C-V特性测试
详解半导体器件C-V特性测试