日本mectron公司在“jpcashow2007”(2007年5月30日~6月1日,东京bigsight国际会展中心)上展出了实现微细布线的多层超薄柔性底板的试制品。试制品按照手机中的相机模块底板制成,6层的厚度仅0.3mm。布线层中第2~5层的布线间距(pitch)仅60μm。目前市场上出售的柔性底板,布线间距往往为100~150μm。所有绝缘层都采用柔性底板,又实现了微细布线。可配备0.4mm间距的csp。新产品的目标是柔性·刚性(flex-rigid)底板无法使用的超薄产品市场。该产品的开发已基本结束,预定08年初开始量产。
试制品由3张两面贴着铜箔的聚酰胺膜(polyamidefilm)重叠而成。中间的聚酰胺膜相当于核心(core)层,第3层与第4层对过孔(viahole)进行电镀使其导通。第1层和第2层、第5层和第6层在利用布线与激光形成埋孔图案后重叠。重叠之后,利用激光从第1层和第6层打出埋孔,并对其电镀使其导通。由于第1层和第2层、第5层和第6层不发生重叠偏移,所以埋孔的尺寸可小至120μm。此外,通过把铜箔变得比半蚀刻(halfetching)还薄,将第2~5层铜的厚度减到了10μm,实现了60μm的微细布线间距。第1层与第6层方面,由于要形成深达3层的埋孔并对其电镀,所以铜将变厚。与内层相比,布线间距较大,为120μm。
铰链等要求具备一定弯曲性的地方采用了去掉中间聚酰胺膜的“中空管结构”。由于铰链部分为单面(1层)的柔性底板 ,所以弯曲性很高。即使以60rpm的速度弯曲20万次以上,电阻变化率仍在50%以下。