半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料,其次阐述了ic晶圆生产线的7个主要生产区域及所需设备和材料,最后详细的介绍了半导体制造工艺,具体的跟随小编一起来了解一下。
半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,front-end)和封装(后道,back-end)测试,随着先进封装技术的渗透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道(middle-end)。由于半导体产品的加工工序多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。在这里,我们以最为复杂的晶圆制造(前道)和传统封装(后道)工艺为例,说明制造过程的所需要的设备和材料。
晶圆生产线可以分成7个独立的生产区域:扩散(thermal process)、光刻(photo- lithography)、刻蚀(etch)、离子注入(ion implant)、薄膜生长(dielectric deposition)、抛光(cmp)、金属化(metalization)。这7个主要的生产区和相关步骤以及测量等都是晶圆洁净厂房进行的。在这几个生产区都放置有若干种半导体设备,满足不同的需要。例如在光刻区,除了光刻机之外,还会有配套的涂胶/显影和测量设备。
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