台积电(tsmc)董事会日前核准资本预算美金2亿500万元，将用以扩充该公司晶圆12厂之45奈米制程产能。台积电预计于今年九月即可完成45奈米制程验证并开始为客户进行量产，该制程结合了193奈米浸润式曝光显影制程、应变硅晶(siliconstrains)以及超低介电系数(extremelow-kdielectric，elk)组件连接材料等优势。
台积电计划先推出45奈米低耗电量(lp)制程，之后再推出泛用型(generalpurpose)及高效能(highperformance，gs)制程。此外45奈米逻辑制程也提供低耗电量三闸级氧化层(triplegateoxide，lpg)的制程选择。此三种制程皆提供多种不同运作电压以及1.8伏特、2.5伏特或3.3伏特的输入/输出电压以满足不同产品的需求。台积电并同时宣布推出45奈米制程设计生态环境。
